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第129章 DUV光刻机

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在王昊天的眼前,有一个白色的大壳子,上边打着智慧殿堂的标志,现在智慧殿堂的logo已经确认了,就是一个仿古的有菱角的殿堂!

这就是小芳制作出来的光刻机。

看见王昊天专注的眼神,小芳略微有些得意:“我已经按照你的吩咐尽可能地降低配置了。”

说到这里小芳情不自禁地瞥了一下嘴巴:“你们星球上的科技真的是低!”

“首先是激光发射器,因为是制作45纳米的光刻机,不能用可见光,也不能用紫外光,我们采用的是深紫外光,也就是所谓的DUV!”

“准确的说是ArF准分子激光,这种光的波长虽然是193纳米,但是可以等效为134纳米。”

“就算是DUV光刻机,也是可以分为两种的,一种是干分式的,另一种就是液浸式的,我们这一台选择的是浸透式的,浸透式的光刻机在理论上在制造芯片的时候经过多重曝光之后工艺可以达到惊人的7纳米!”

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